聲波清灰器是用噴水或溢流水等方式使集塵極表面形成一層水膜，將沉集在極板上的粉塵沖走的電除塵器。濕式清灰可以避免已捕集粉塵的再飛揚，達到很高的除塵效率。因無振打裝置，運行也較可靠。但存在著腐蝕、污泥和污水的處理問題。僅在氣體含塵濃度較低、要求含塵效率較高時才采用。濕式電除塵器和與干式電除塵器的收塵原理相同，都是靠高壓電暈放電使得粉塵荷電，荷電后的粉塵在電場力的作用下到達到集塵板板。但在對集塵板上捕集到的粉塵清除方式上WESP與DESP有較大區別，干式電除塵器一般采用機械振打或聲波清灰等方式清除電極上的積灰，而濕式電除塵器則采用沖刷液沖洗電極，在極板上形成連續的液膜，使粉塵隨著沖刷液的流動而清除。濕式電除塵器和與干式電除塵器的收塵原理相同，都是靠高壓電暈放電使得粉塵荷電，荷電后的粉塵在電場力的作用下到達集塵板/管。干式電收塵器主要處理含水很低的干氣體，濕式電除塵器主要處理含水較高乃至飽和的濕氣體。在對集塵板/管上捕集到的粉塵清除方式上WESP與DESP有較大區別，干式電除塵器一般采用機械振打或聲波清灰等方式清除電極上的積灰，而濕式電除塵器則采用定期沖洗的方式，使粉塵隨著沖刷液的流動而清除。 具有除塵效率高、壓力損失小、操作簡單、能耗小、無運動部件、無二次揚塵、維護費用低、生產停工期短、可工作于煙氣露點溫度以下、由于結構緊湊而可與其它煙氣治理設備相互結合、設計形式多樣化等優點。